金属カルボン酸塩

酸化物薄膜

EXAMPLE (AFM image)
作製膜性状例(AFM像)
GO(ガリウム酸化物)
□20µm、Ra:0.26nm

膜合成例 :
ITO(インジウム-スズ酸化物)
PZT(チタン-ジルコン酸鉛)
STO(SrTiO3)

UV照射によるパターン化

EXAMPLE (AFM image)
Patterned by UV irradiation

試作品
·Y(CF3COO)3 トリフルオロ酢酸イットリウム
·Ba(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸バリウム
·Cu(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸銅
(用途)超伝導薄膜
RAW MATERIALS FOR METAL OXIDE THIN FILMES
金属酸化物薄膜用原料

*図中太字は提供可能物質